ASML光刻机能否卖给中国？可以但EUV受限

10月14日，光刻机霸主——荷兰阿斯麦（ASML）公司发布了最新财务报告，数据统计显示，第三季度ASML当季实现营收40亿欧元，净利润高达11亿欧元（约合87亿元人民币）。

2020年前三季度，ASML总共实现净销售额97．24亿欧元，较去年同期77．83亿欧元提高近25％；净利润22．03亿欧元同样大幅提升51％。ASML预估四季度的收入在36到38亿欧元，毛利率50％左右，2020全年的营收应该至少能达到133亿欧元。

据悉，第三季出售的60台光刻机为公司提供了近31亿欧元的营收，其中有14台是EUV光刻机，数量占比约23％，但却提供了66％的营收，从而也足以见得EUV光刻机的重要程度。

这60台光刻机都卖给了谁？台积电拿下了将近一半数量，剩下的则卖给了三星、英特尔这些企业。从地区上来看，中国台湾贡献了光刻机收入的47％，韩国贡献了26％，中国大陆企业贡献了21％。

光刻机到底能不能卖给中国？回应：可以但有限制

如此看来，中国是ASML光刻机**的市场，ASML甚至在财报中立下目标，将中国市场2020年的销售收入小幅提升到10亿欧元以上（约79亿元人民币）。

但此前受中芯国际EUV光刻机迟迟难以交付消息的影响，一直有传言称ASML光刻机出口中国必须获得相应许可证，由此给国产芯片制造产业带来了莫大难处。

光刻机到底能不能卖给中国？在这次ASML的财报会议的视频采访中，ASML CFO Roger Dassen提到了与中芯国际等中国客户的业务情况，他表示一些情况下出口光刻机是不需要许可证的。

Roger Dassen指出，按照该司对美国新规的整体理解，如果阿斯麦从荷兰向中国买家供应DUV光刻系统，无需出口许可证。但是直接出口涉及到美国方面的零部件及设备，阿斯麦则必须提交出口申请，待获批后才能进行正常买卖。

换句话说，一般的光刻机包括DUV光刻机在内的都可以卖，但EUV光刻机必须要获得许可证。

DUV光刻机和EUV光刻机有什么区别？简单来说，DUV是深紫外线（Deep Ultraviolet Lithography），EUV是极深紫外线（Extreme Ultraviolet Lithography）。两种不同的光源让光刻机获得了不同的曝光能力，从而获得不一样的工艺制程范围。

DUV光刻机最多只能做到25nm，英特尔曾凭借双工作台的模式做到了10nm，但是却无法达到10nm以下，后来胡正明教授（梁孟松的老师）发明了FinFET工艺之后，极尽所能的压榨了这台机器的潜能，让它走到了7nm制程。

但是即使采用了FinFET工艺，芯片再想往5nm、3nm先进工艺继续延伸，那就不得不使用EUV光刻机了。因此，DUV光刻机和EUV光刻机的价格差别也很大，DUV光刻机的价格为2000万－5000万美金／台，而EUV的价格是1－3亿美金／台。

那么，ASML此番表态也等于是表明了自己的态度，一般的光刻机可以卖给你，但是好又贵的EUV光刻机，想卖给中国却是有心无力。

世界上做光刻机的除了ASML以外还有尼康和佳能，但是为什么各大企业都想购买ASML的光刻机？很简单，在繁杂的光刻机制造过程中，ASML扮演的是集大成者，将全球范围内近8000个核心零部件整合最终造出一台光刻机，其设备上不仅拥有最**的光源技术（激光系统），在其他精密仪器方面也达到了世界顶端。

虽然最近十几年我国一直在致力于研究光刻机，但是取得的成果并不是很明显，目前我国光刻机最高技术也就上海微电子所生产的90nm光刻机。

90nm跟28nm或者是7nm从数字上来看差距不大，但光刻机每上一个台阶技术难度就会大大增加，从90nm跨越到65nm并不难，再从65nm升级到45nm难度加大，至于28nm、14nm、7nm、5nm，甚至未来有可能出现的3nm、2nm，难度进一步加大。也正因为如此，我国的光刻机的研发进度一直都比较缓慢。

对我国来说，要想制造高端芯片，在当前肯定是离不开海外巨头的支持。但是未来必须将核心技术掌握在自己手里，不过时间到底要多久还很难说。